電容位移傳感器實際應(yīng)用時，常常僅改變?nèi)齾?shù)之一以使其變化。所以電容位移傳感器可分為三種基本類型：變極距(變間隙)型、變面積型和變介電常數(shù)型稱重傳感器。
　　電容位移傳感器的三種基本結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種每一種又依據(jù)傳感器權(quán)板形狀分成平板和圓形或圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他的形狀、但一般很少用。其中差動式傳感器一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器。它靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高。
　　1、變極距式電容位移傳感器
　　變極距式電容位移傳感器用一個固定極扳和一個可動極板構(gòu)成：可動極板由被測金屬平面充當(dāng)。當(dāng)電容位移傳感器極板間距因被測量變化而變化時，電容變化量為極距是時的初始電容量。極板間距的變化不是線性關(guān)系說明該類型電容位移傳感器存在著原理性非線性誤差，即量程遠(yuǎn)小于兩極板問的初始距離)時，可以認(rèn)為么是線性關(guān)系，因此，這種類型的傳感器一般用來測量微小的位移變化量。
　　2、變面積型電容位移傳感器
　　變面積型電容位移傳感器中，平板形結(jié)構(gòu)對圾距變化特別敏感，測量精度受到影響，而圓柱形結(jié)構(gòu)受權(quán)板徑向變化的影響很小v成為實際應(yīng)用中常來只結(jié)構(gòu)，其干線位移單組式的電容量在忽略邊緣效應(yīng)時為電容傳感器的電容變化與線位移成正比。
　　3、變介電常數(shù)型電容位移傳感器
　　變介電常數(shù)(c)型電容位移傳感器大多用來測量電介質(zhì)的厚度、液位、還可根據(jù)極間介質(zhì)的介電常數(shù)隨溫度、濕度改變而改變來測量介質(zhì)材料的溫度、濕度等。若忽略邊緣故應(yīng)，單組式平板形線位移傳感器的電容量與介質(zhì)線位移的關(guān)系為固定極板的長度和寬度及被測物進入兩極板間的長度。